Chức năng cốt lõi:Liệu pháp nhiệt, rung động
Nhiệt độ trị liệu nhiệt:Nhiệt độ không đổi 40 ± ± 2
Phát nhạc:Không gian lưu trữ 128MB tích hợp
Dải đo:0,5 - 60L/phút
Giao diện luồng:G1/4 - G1
Đường ống áp dụng:DN8 - DN25
Operating power supply voltage:8V to 15V
Port size:5.08 mm
Shell material:Silicon
Đo phạm vi:0 ~ 300l/phút
Đầu ra:RS485
Sự chính xác:± 3%fs
Tốc độ dòng chảy hàng loạt:0 - 1000 SCCM
Độ chính xác:±(2 + 0.5 fs)%
Thời gian đáp ứng:8 msec
Cung cấp hiệu điện thế:4,75-5,25V
cấp độ cao:4VDD
Cấp thấp:0,8V
Output mode:Analog voltage (0.5 - 4.5VDC)
Interface type:M5 screw hole or JST electrical interface
Repeatability:±1.0%
Measuring Range:0 to 100%
Working Pressure:±100 mbar
Operating Temperature Range:15 to 40°C
Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%