Cảm biến lưu lượng khối lượng điện dựa trên vi máy tính dòng YJJ FS8001 được sử dụng trong thiết bị công nghiệp

Mô tả sản phẩm:

Bộ cảm biến dòng chảy khối lượng điện dựa trên máy tính vi tính YJJ FS8001 Series được sử dụng trong thiết bị công nghiệp

Đặc điểm:

Bộ cảm biến dòng chảy khối lượng điện máy tính vi mô dòng FS8001 được thiết kế đặc biệt cho các quy trình công nghiệp khác nhau.làm cho nó dễ dàng lắp đặt và áp dụng cho một loạt các thiết bị công nghiệp như máy gắn wafer.

Các cảm biến lưu lượng khối lượng khí loạt FS8001 được thiết kế đặc biệt cho kiểm soát quy trình công nghiệp.Chúng có thiết kế giao diện sợi và phù hợp với thiết bị công nghiệp như máy kết nối tinh thểCác cảm biến này hỗ trợ đo lường môi trường khí như không khí.

Phạm vi đo: 0 - 500 SCCM (cm3 tiêu chuẩn mỗi phút)

Độ chính xác: ± 2,0 + 0,5FS

Thời gian phản ứng: ≤ 10 ms

Nhiệt độ hoạt động: 0 - 55°C

Chế độ đầu ra: điện áp tương tự (0,5 - 4,5VDC) hoặc tín hiệu kỹ thuật số I2C tùy chọn

Loại giao diện: lỗ vít M5 hoặc giao diện điện JST

Bộ cảm biến này có năng lượng tiêu thụ thấp và khả năng chống nhiễu mạnh mẽ.và có thể đáp ứng các yêu cầu về độ chính xác cao và tốc độ phản hồi trong các kịch bản như sản xuất bán dẫn và giám sát đường ống khí.

Phạm vi dòng chảy
Phạm vi dòng chảy tiêu chuẩn: 0 - 500 cm3 (dưới điều kiện tiêu chuẩn)
Mở rộng phạm vi dòng chảy: Tối đa 6 SLPM (làm ơn xác nhận với mô hình cụ thể)
Chính xác và có thể tái tạo
Độ chính xác: ± 2,0 + 0,5 × FS) %
Khả năng lặp lại: ± 1,0%
Đặc điểm sản xuất
Chế độ đầu ra: Điện áp tương tự tuyến tính (0,5 - 4,5 VDC), đầu ra tín hiệu kỹ thuật số I2C tùy chọn
Thời gian phản ứng: 10 ms
Điều kiện làm việc
Điện áp hoạt động: 8 - 24 VDC
Áp suất làm việc: 0,3 MPa
Nhiệt độ làm việc: 0 đến + 55 °C
Nhiệt độ lưu trữ: -20 đến +65°C
Các đặc điểm khác
Loại giao diện: giao diện sợi (mở vít M5)
Yêu cầu độ ẩm: < 95% RH (không đông lạnh, không ngưng tụ)

Thông số kỹ thuật: