Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Sức mạnh:11.4 ~ 25.2V
Phạm vi:0,5 ~ 10,1,8 ~ 32,5 ~ 85,9 ~ 150l/phút
Độ chính xác đầy đủ phạm vi:x ± 1% (phạm vi <50%)
Phạm vi dòng chảy:0 ~ 2000 ... 6000
Độ chính xác:± (2.0+0,5Fs)%
Tỷ lệ quay xuống:> 100: 1
Để Sử Dụng Với:Khí khô
Phạm vi:+/- 200cm/phút
Độ chính xác:0,35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
Đầu ra không trôi:+30 mV
Sự trôi dạt sản lượng:+0,12 %/oc
nguồn điện làm việc:8-18VDC, 100mA
Đường dẫn (n):2.3. 4. 5
Tỷ lệ dòng chảy:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
tỷ lệ phạm vi:100:1