|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
|
| Đo trung bình: | N₂, Không khí, O₂, Ar, CO₂, v.v. | Phạm vi: | 0,5–50 SLPM |
|---|---|---|---|
| Sự chính xác: | ±(1,5% số đọc + 0,2% FS) | Độ lặp lại: | ≤±0,5%FS |
| Tỷ lệ phạm vi: | 100:1 | Thời gian đáp ứng: | 100ms |
| Dòng khởi đầu: | Thấp tới 8mm/s | Nguồn điện: | 12 Vd24 VDC ± 10% |
| Làm nổi bật: | Máy đo lưu lượng khí nhiệt MEMS 0,5-50 SLPM,Cảm biến luồng không khí y tế 1 |
||
Mô tả sản phẩm:
YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS Lưu lượng kế khối khí nhiệt 0,5 - 50 SLPM 1,5MPa
Đặc trưng:
I. Tháo Lắp Mô Hình (Ý Nghĩa Chi Tiết Từng Vị Trí)
MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA
MF5006: Series, DN6 (Đường kính trong 6mm, giao diện 1/4")
N2: Khí tiêu chuẩn = Nitơ (N₂)
M: Nguyên lý dòng nhiệt MEMS
E: Vỏ hợp kim nhôm
0,5: Phạm vi tối thiểu 0,5 SLPM (Lít tiêu chuẩn mỗi phút ở 20°C / 1 atm)
50: Phạm vi tối đa 50 SLPM
15: Áp suất làm việc tối đa 1,5 MPa
AB: Đầu ra = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)
D: Với màn hình LCD (Lưu lượng tức thời + tích lũy)
A: Cấu hình tiêu chuẩn (Không có tùy chỉnh đặc biệt)
II. Thông số cốt lõi (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)
1. Hiệu suất đo lường
Môi trường đo: N₂, Air, O₂, Ar, CO₂, v.v. Khô, sạch, không dầu, không ngưng tụ khí
Lỗ khoan / Giao diện: DN6, 1/4" Ren trong (G1/4 hoặc NPT1/4)
Phạm vi (N₂, 20°C / 1 atm): 0,5–50 SLPM (Lít tiêu chuẩn / phút)
Độ chính xác: ± (Đọc 1,5% + 0,2% FS)
Độ lặp lại: ≤±0,5%FS
Tỷ lệ phạm vi: 100:1 (Phạm vi rộng, Độ nhạy dòng chảy thấp)
Thời gian phản hồi: 100ms (Thay đổi luồng theo dõi nhanh)
Lưu lượng bắt đầu: Thấp đến 8mm/s (Có thể đo được lưu lượng cực nhỏ)
2. Điện và đầu ra
Nguồn điện: 12–24 VDC ±10%, Công suất tiêu thụ < 2W
Đầu ra Analog: 4–20mA (Tương ứng với 0–50 SLPM)
Giao tiếp: RS485 (Modbus-RTU), Giám sát từ xa có thể kết nối mạng
Màn hình: Màn hình LCD, hiển thị dòng tức thời (SLPM) + dòng tích lũy
3. Cơ khí và Môi trường
Chất liệu vỏ: Hợp kim nhôm (E-Type), nhẹ, chống ăn mòn
Chất liệu liên hệ: Thép không gỉ 316L
Áp suất làm việc: .51,5 MPa (15bar)
Nhiệt độ làm việc: -20°C đến +60°C
Độ ẩm: 0–95% RH (Không ngưng tụ)
Cấp bảo vệ: IP40 (Chống bụi, Trong nhà / Môi trường công nghiệp chung)
Lắp đặt: Lắp đặt theo chiều ngang/dọc theo ý muốn, không cần đoạn ống thẳng (Ưu điểm của MEMS Thermal)
4. Đặc điểm nguyên tắc
MEMS Thermal: Đo trực tiếp lưu lượng khối, không bù nhiệt độ/áp suất, ảnh hưởng đến độ chính xác dao động nhiệt độ/áp suất
Áp suất chênh lệch cực thấp: Giảm áp suất tối thiểu, phù hợp với hệ thống áp suất thấp / dòng chảy nhỏ
Độ ổn định cao: Nhỏ trôi điểm 0, không cần bảo trì dài hạn
III. Các ứng dụng chính (Đo chính xác lỗ khoan nhỏ, khí lưu lượng thấp)
1. Chất bán dẫn / Điện tử (Kịch bản cốt lõi)
Nitơ có độ tinh khiết cao (N₂), Oxy (O₂), Argon (Ar), Tỷ lệ khí xử lý và giám sát dòng chảy
Kiểm soát chính xác dòng khí nhỏ trong thiết bị xử lý wafer, khuếch tán, khắc, lắng đọng
2. Y tế / Dược phẩm
Giám sát lưu lượng cung cấp oxy / nitơ của bệnh viện (Mặt nạ phòng độc, Máy gây mê)
Đo lường chính xác khí vô trùng dược phẩm, khí bảo vệ (N₂/Ar)
3. Phòng thí nghiệm/Nghiên cứu
Giám sát khí phản ứng, tỷ lệ dòng chảy nhỏ của khí thí nghiệm (N₂/O₂/Ar/CO₂)
Đo khí lưu lượng thấp để xúc tác, đốt cháy, lấy mẫu môi trường, v.v.
4. Tự động hóa công nghiệp
Kiểm soát ổn định dòng chảy nhỏ của khí bảo vệ hàn (Ar/CO₂)
Giám sát dòng chảy của thiết bị xử lý chính xác, kiểm tra khí xả / khí bảo vệ
Nhánh nhỏ về đo lường mức tiêu thụ năng lượng cuối cùng của thiết bị/khí nén
5. Môi trường / Năng lượng mới
Giám sát lấy mẫu khí thải có nồng độ thấp, khí đuôi
Đo khí hydro nồng độ thấp cho pin nhiên liệu hydro
Thông số kỹ thuật:
| MF5006 | Dòng sản phẩm DN6 |
| N2 | Khí chuẩn = Nitơ (N2) |
| M | Nguyên lý dòng nhiệt MEMS |
| E | Vỏ hợp kim nhôm |
| 0,5 | Phạm vi tối thiểu 0,5 SLPM |
| 50 | Phạm vi tối đa 50 SLPM |
| 15 | Áp suất làm việc tối đa 1,5 MPa |
| AB | Đầu ra = 4-20mA + RS485 |
| D | Với màn hình LCD |
| MỘT | cấu hình tiêu chuẩn |
Người liên hệ: Miss. Xu
Tel: 86+13352990255
Vietnamese
