Bộ điều khiển lưu lượng khối khí MFC YJJ AS200 bằng thép không gỉ, độ chính xác cao, Máy đo lưu lượng khí vi mô

Mô tả sản phẩm:

Bộ điều khiển lưu lượng khối khí chính xác cao MFC bằng thép không gỉ YJJ AS200, Máy đo lưu lượng khí vi mô

Đặc điểm:

Bộ điều khiển lưu lượng khối khí dòng AS200

Cung cấp phần mềm máy tính trên miễn phí mạnh mẽ cho khách hàng

Bộ điều khiển lưu lượng khối khí dòng AS200 phù hợp với nhiều loại khí thông thường khác nhau, cải thiện độ chính xác và độ tin cậy của kết quả đo lường kiểm soát lưu lượng khối khí. Độ chính xác lặp lại lên đến 0,2% F.S.;

Tỷ lệ rò rỉ thấp 1x10-0 Pa·m3/giây He, độ kín khí tốt, đảm bảo an toàn sản xuất; Nó có thể hỗ trợ nhiều đầu ra tín hiệu, bao gồm tín hiệu số, tín hiệu tương tự 1-5V và tín hiệu tương tự 4-20mA, có thể sử dụng nguồn điện đơn (+15~+28VDC), phù hợp với các tình huống làm việc khác nhau; Giao thức truyền thông mở tiêu chuẩn tạo điều kiện thuận lợi cho khách hàng phát triển phần mềm điều khiển và thu thập dữ liệu một cách độc lập; Đồng thời, sản phẩm còn cung cấp phần mềm máy tính trên miễn phí mạnh mẽ cho khách hàng, tạo điều kiện cho người dùng gỡ lỗi và vận hành.

Các sản phẩm dòng AS200 được Aosong Electronics phát triển bằng công nghệ MEMS tiên tiến. Trong nhiều khía cạnh như điều khiển cảm biến, kiểm soát trôi zero và điều khiển van, các công nghệ cốt lõi đã được áp dụng để đảm bảo hiệu suất cao, chất lượng cao và độ tin cậy cao của sản phẩm. Đây là một thiết bị chất lượng cao với độ ổn định tốt, độ chính xác cao, tỷ lệ rò rỉ thấp và khả năng chịu áp lực cao.

Bộ điều khiển lưu lượng khối khí (MFC) dòng AS200 chủ yếu được sử dụng để kiểm soát và đo lường chính xác lưu lượng khối khí. AS200 đóng một vai trò quan trọng trong nghiên cứu và sản xuất trong nhiều lĩnh vực khác nhau như công nghệ mạch tích hợp bán dẫn, vật liệu đặc biệt, công nghiệp hóa chất, công nghiệp dầu khí, y học, bảo vệ môi trường và chân không. Các tình huống ứng dụng điển hình của nó bao gồm: thiết bị quy trình mạch tích hợp, chẳng hạn như epitaxy, khuếch tán, khắc plasma, phun, cấy ion và các thiết bị CVD khác nhau; các thiết bị công nghiệp khác, chẳng hạn như nấu chảy sợi quang, thiết bị phản ứng vi mô, hệ thống trộn khí và phân phối khí, thiết bị lấy mẫu khí, dụng cụ đo mao dẫn, máy sắc ký khí và các dụng cụ phân tích khác.

Bộ điều khiển lưu lượng khối khí

Nguồn điện: 15 - 24V DC (cực đơn)

Phạm vi đo: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/phút

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0.5 - 50 SLM/phút

Độ chính xác lặp lại: ±0,2% Toàn thang

Thời gian đáp ứng: 1 giây

Môi trường hoạt động: 5 - 45℃

Kích thước: 112,8 * 38 * 115 mm

Thông số kỹ thuật: