Bộ điều khiển lưu lượng khối khí MFC YJJ AS200 bằng thép không gỉ, độ chính xác cao, Máy đo lưu lượng khí vi mô

Mô tả sản phẩm:

YJJ AS200 Thép không gỉ MFC Kiểm soát dòng chảy khối lượng khí chính xác cao Máy đo dòng chảy khí khí

Đặc điểm:

Máy điều khiển dòng chảy khối lượng khí dòng AS200

Cung cấp phần mềm máy tính cao cấp dựa trên khách hàng miễn phí mạnh mẽ

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí dòng AS200 phù hợp với các loại khí thông thường khác nhau, cải thiện độ chính xác và độ tin cậy của kết quả đo kiểm soát lưu lượng khối lượng khí.Độ chính xác lặp lại là lên đến 00,2% F.S.;

Tỷ lệ rò rỉ thấp 1x10-0 Pa·m3/sec He, độ kín không khí tốt, đảm bảo an toàn sản xuất; Nó có thể hỗ trợ nhiều đầu ra tín hiệu, bao gồm tín hiệu kỹ thuật số, tín hiệu tương tự 1-5V,và tín hiệu tương tự 4-20mA, có thể sử dụng một nguồn điện duy nhất (+ 15 ~ + 28VDC), phù hợp với các kịch bản làm việc khác nhau;Giao thức truyền thông mở tiêu chuẩn cung cấp sự tiện lợi cho khách hàng để phát triển phần mềm kiểm soát và thu thập độc lậpĐồng thời, sản phẩm cũng cung cấp phần mềm máy tính trên dựa trên khách hàng miễn phí mạnh mẽ, tạo điều kiện cho người dùng gỡ lỗi và vận hành.

Các sản phẩm dòng AS200 được phát triển bởi Aosong Electronics sử dụng công nghệ MEMS tiên tiến.công nghệ cốt lõi đã được áp dụng để đảm bảo hiệu suất cao, chất lượng cao, và độ tin cậy cao của các sản phẩm.

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí (MFC) dòng AS200 chủ yếu được sử dụng để kiểm soát và đo chính xác lưu lượng khối lượng khí.AS200 đóng một vai trò quan trọng trong nghiên cứu và sản xuất trong các lĩnh vực khác nhau như công nghệ mạch tích hợp bán dẫnCác kịch bản ứng dụng điển hình của nó bao gồm: thiết bị quy trình mạch tích hợp,chẳng hạn như chẩn đoán tử thi, khuếch tán, khắc plasma, phun, cấy ghép ion và các thiết bị CVD khác nhau; thiết bị công nghiệp khác, chẳng hạn như nấu chảy sợi quang, thiết bị phản ứng vi mô,Hệ thống hỗn hợp khí và hệ thống phân phối khí, thiết bị lấy mẫu khí, các thiết bị đo bằng mao mạch, nhiễm sắc thể khí và các thiết bị phân tích khác.

Máy điều khiển dòng chảy khối lượng khí

Nguồn điện: 15 - 24V DC (một cực)

Phạm vi đo: 1 - 100, 2 - 20 3 ~ 300SCCM/min

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0,5 - 50 SLM/phút

Độ chính xác lặp lại: ± 0,2% của Full Scale

Thời gian phản ứng: 1 giây

Môi trường hoạt động: 5 - 45°C

Kích thước: 112,8 * 38 * 115 mm

Thông số kỹ thuật: