AWM42300V Microbridge Gas Mass Air Flow Sensor cho đầu ra tương tự khí khô

Mô tả sản phẩm:

AWM42300V Microbridge Gas Mass Air Flow Sensor cho đầu ra tương tự khí khô

Đặc điểm:

Bộ cảm biến dòng chảy khối lượng khí AWM40000 không tăng cường (mV), phạm vi dòng chảy / áp suất: ± 1000 SCCM (1,0 SLPM);Loại giao diện: Manifold.

hoạt động

Nguyên tắc của cảm biến lưu lượng khối lượng khí microbridge là chuyển nhiệt.Tốc độ lưu lượng khối lượng của khí được hướng qua bề mặt của phần tử cảm biến.Điện áp đầu ra tỷ lệ thuận với khối lượng không khí hoặc khí khác chảy qua cửa vào và cửa ra của gói.Một vỏ được thiết kế đặc biệt chỉ đạo và kiểm soát tối ưu luồng không khí thông qua các yếu tố cảm biến vi cấu trúc.Bao bì được thiết kế cơ học để dễ dàng gắn trên một bảng mạch in.

Bộ cảm biến dòng chảy khối lượng khí microbridge chứa một con chip silicon tiên tiến dựa trên công nghệ cấu trúc vi mô tiên tiến.Chip sử dụng một màng mỏng và cấu trúc cầu adiabatic với một phần tử cảm biến nhiệt độ và nhiệt độ.Cấu trúc cầu có thể phản ứng nhanh chóng và nhạy cảm với luồng không khí của không khí hoặc các khí khác chảy qua chip.Các yếu tố cảm biến kép ở hai bên của yếu tố sưởi trung tâm cũng chỉ ra hướng và tốc độ dòng chảy.Bộ phim dày được điều chỉnh bằng laser và kháng phim đảm bảo khả năng trao đổi nhất quán từ cảm biến sang cảm biến mọi lúc.

Các cảm biến dòng chảy khối lượng khí Microbridge sử dụng các điện trở nhiệt được bọc trong các tấm silicon nitride.Những kháng cự này được treo, tạo thành hai cây cầu trên khoang khắc của chip silicon.Chip được đặt trong một kênh luồng không khí kích thước *** để cung cấp phản ứng luồng lặp lại.Bằng cách khắc khoang bên dưới cầu cảm biến dòng chảy, lò sưởi và điện trở cảm biến có thể đạt được cách ly nhiệt hiệu quả.Kích thước nhỏ và chức năng cách nhiệt của cảm biến dòng chảy khối lượng khí microbridge đạt được phản ứng tốc độ tối đa và độ nhạy cao đối với dòng chảy không khí.

Wheatstone Twin Bridges kiểm soát đo lưu lượng không khí - một cung cấp điều khiển máy sưởi vòng kín và một chiếc khác chứa các yếu tố cảm biến kép.Vòng mạch máy sưởi giảm biến đổi đầu ra do thay đổi nhiệt độ môi trường bằng cách cung cấp đầu ra tỷ lệ thuận với dòng chảy khối lượng.Vòng mạch này duy trì nhiệt độ của máy sưởi ở một sự khác biệt nhiệt độ liên tục trên nhiệt độ môi trường xung quanh (160°C), được xác định bằng cách đo kháng nhiệt trên chip.Lượng đầu ra của thiết bị tỷ lệ với điện áp cung cấp và cũng tương ứng với điện áp chênh lệch của mạch cầu Wheatstone.

Thông số kỹ thuật: