Đồng hồ đo chân không tổng hợp catốt lạnh hiển thị số chính xác cao AGP4000 MEMS

                    Đồng hồ đo chân không tổng hợp ống chân không Pirani hiển thị kỹ thuật số độ chính xác cao AGP4000

Ứng dụng:

• Sản xuất chất bán dẫn: Được sử dụng để theo dõi chính xác môi trường chân không trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như phủ chất bán dẫn. Việc kiểm soát độ chân không chính xác là rất quan trọng đối với chất lượng và hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn và AGP4000 có thể cung cấp dữ liệu chân không đáng tin cậy để đảm bảo sự ổn định của quy trình.
• Lĩnh vực hàng không vũ trụ: Trong thử nghiệm linh kiện hàng không vũ trụ và các tình huống khác, cần phải mô phỏng các môi trường chân không khác nhau để kiểm tra hiệu suất của các linh kiện. AGP4000 có thể thực hiện giám sát toàn dải từ chân không thấp đến chân không cao, cung cấp hỗ trợ dữ liệu quan trọng cho nghiên cứu và phát triển cũng như thử nghiệm hàng không vũ trụ.
• Nghiên cứu khoa học chính xác: Trong nghiên cứu khoa học chính xác, chẳng hạn như một số thí nghiệm vật lý và hóa học yêu cầu kiểm soát môi trường chân không có độ chính xác cao, AGP4000 có thể giúp các nhà nghiên cứu thu được thông tin về độ chân không một cách chính xác, đảm bảo độ chính xác và khả năng lặp lại của kết quả thí nghiệm.
• Ứng dụng lò chân không: Đối với lò chân không, các mức độ chân không khác nhau được yêu cầu ở các giai đoạn quy trình khác nhau. AGP4000 có thể theo dõi độ chân không trong lò theo thời gian thực và phối hợp với hệ thống điều khiển để điều chỉnh độ chân không, từ đó đảm bảo chất lượng xử lý nhiệt của vật liệu và tuổi thọ của lò.

Tính năng:

• Đo lường phạm vi rộng và độ chính xác cao: Nó có thể đạt được khả năng giám sát chính xác toàn dải từ chân không thấp đến chân không cao (1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa), bao gồm phạm vi rộng 6 bậc độ lớn, với sai số lặp lại ≤±5% và độ ổn định lâu dài tuyệt vời, cung cấp nền tảng dữ liệu đáng tin cậy cho các quy trình quan trọng.
• Hợp tác thông minh công nghệ kép: Hệ thống Pirani hoạt động trong suốt quá trình và khi độ chân không là < 10 Pa, hệ thống catốt lạnh tự động khởi động mà không cần can thiệp thủ công, điều này hoàn toàn giải quyết được điểm yếu về giới hạn phạm vi của thiết bị truyền thống.
• Mạnh mẽ và bền bỉ: Thiết kế catốt lạnh không yêu cầu dây tóc nóng, có khả năng chống ô nhiễm mạnh, kéo dài đáng kể tuổi thọ và giảm chi phí bảo trì.
• Trực quan hóa màu sắc thực: Nó được trang bị màn hình màu TFT-LCD độ nét cao, có thể hiển thị giá trị áp suất theo thời gian thực một cách linh hoạt và có thể chuyển đổi giữa ba đơn vị (Pa/Torr/mbar) bằng một phím, đồng thời cũng hiển thị nhiệt độ, trạng thái giao tiếp và dấu hiệu bật/tắt điện áp cao (cảnh báo hai màu đỏ/xanh lam), để dữ liệu rõ ràng trong nháy mắt.
• Đầu ra chế độ kép: Nó có tín hiệu tương tự tuyến tính 0~10V, có thể kết nối trực tiếp với các thiết bị công nghiệp như PLC và máy ghi âm, đồng thời hỗ trợ các công thức chuyển đổi logarit, giúp dễ dàng thích ứng với hệ thống. Đồng thời, nó có giao thức Modbus RTU tiêu chuẩn, thực hiện giao tiếp RS485 thông qua giao diện RJ45, hỗ trợ kết nối mạng đa thiết bị và tương thích với các hệ thống điều khiển công nghiệp chính thống, giúp xây dựng một mạng lưới giám sát chân không thông minh.
• Lắp đặt đơn giản và vận hành đáng tin cậy: Nó được trang bị tiêu chuẩn với mặt bích điện bằng thép không gỉ KF25, có độ kín khí tuyệt vời và hỗ trợ lắp đặt theo bất kỳ hướng nào (khuyến nghị lắp đặt theo chiều dọc). Nó có nguồn điện áp rộng (15~30V DC) và mức tiêu thụ điện năng ≤6W, có thể thích ứng với môi trường công nghiệp khắc nghiệt.
• Hiệu chuẩn thông minh và vận hành thuận tiện: Nó có thiết kế giao diện dựa trên menu ba cấp, hỗ trợ chuyển đổi tiếng Trung và tiếng Anh, có thể đặt các thông số và đơn vị giao tiếp tại chỗ, thực hiện hiệu chuẩn 0,1Pa/áp suất khí quyển và thậm chí khôi phục cài đặt gốc bằng một phím, điều này làm giảm đáng kể ngưỡng vận hành và bảo trì.