Đồng hồ đo chân không tổng hợp catốt lạnh hiển thị số chính xác cao AGP4000 MEMS

                    Máy đo chân không kỹ thuật số AGP4000 MEMS độ chính xác cao, cathode lạnh, composite, máy đo chân không Pirani

Ứng dụng:

• Sản xuất bán dẫn: Được sử dụng để giám sát chính xác môi trường chân không trong các quy trình sản xuất bán dẫn, chẳng hạn như phủ bán dẫn. Kiểm soát độ chân không chính xác là rất quan trọng đối với chất lượng và hiệu suất của sản phẩm bán dẫn, và AGP4000 có thể cung cấp dữ liệu chân không đáng tin cậy để đảm bảo sự ổn định của quy trình.
• Lĩnh vực hàng không vũ trụ: Trong thử nghiệm linh kiện hàng không vũ trụ và các tình huống khác, cần mô phỏng các môi trường chân không khác nhau để kiểm tra hiệu suất của linh kiện. AGP4000 có thể thực hiện giám sát toàn dải từ chân không thấp đến chân không cao, cung cấp hỗ trợ dữ liệu quan trọng cho nghiên cứu và phát triển, thử nghiệm hàng không vũ trụ.
• Nghiên cứu khoa học chính xác: Trong nghiên cứu khoa học chính xác, chẳng hạn như một số thí nghiệm vật lý và hóa học yêu cầu kiểm soát môi trường chân không có độ chính xác cao, AGP4000 có thể giúp các nhà nghiên cứu thu thập chính xác thông tin về độ chân không, đảm bảo độ chính xác và khả năng lặp lại của kết quả thí nghiệm.
• Ứng dụng lò chân không: Đối với lò chân không, các mức độ chân không khác nhau là cần thiết trong các giai đoạn quy trình khác nhau. AGP4000 có thể giám sát độ chân không trong lò theo thời gian thực và phối hợp với hệ thống điều khiển để điều chỉnh độ chân không, nhằm đảm bảo chất lượng xử lý nhiệt của vật liệu và tuổi thọ của lò.

Tính năng:

• Đo lường dải rộng và độ chính xác cao: Có thể thực hiện giám sát chính xác toàn dải từ chân không thấp đến chân không cao (1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa), bao phủ dải rộng 6 bậc độ lớn, với sai số lặp lại ≤±5%, và độ ổn định lâu dài tuyệt vời, cung cấp nền tảng dữ liệu đáng tin cậy cho các quy trình quan trọng.
• Hợp tác thông minh công nghệ kép: Hệ thống Pirani hoạt động trong suốt quy trình, và khi độ chân không là < 10 Pa, hệ thống cathode lạnh được tự động khởi động mà không cần sự can thiệp thủ công, giải quyết hoàn toàn điểm hạn chế về dải đo của thiết bị truyền thống.
• Mạnh mẽ và bền bỉ: Thiết kế cathode lạnh không yêu cầu dây tóc nung, có khả năng chống ô nhiễm mạnh mẽ, kéo dài tuổi thọ đáng kể và giảm chi phí bảo trì.
• Hiển thị trực quan màu thật: Được trang bị màn hình màu TFT-LCD độ nét cao, có thể hiển thị động giá trị áp suất theo thời gian thực, và có thể chuyển đổi giữa ba đơn vị (Pa/Torr/mbar) chỉ bằng một phím, đồng thời hiển thị nhiệt độ, trạng thái giao tiếp và các dấu hiệu bật/tắt điện áp cao (cảnh báo hai màu đỏ/xanh), giúp dữ liệu rõ ràng trong nháy mắt.
• Đầu ra kép: Có tín hiệu analog tuyến tính 0~10V, có thể kết nối trực tiếp với thiết bị công nghiệp như PLC và bộ ghi, và hỗ trợ công thức chuyển đổi logarit, giúp dễ dàng thích ứng với hệ thống. Đồng thời, nó có giao thức Modbus RTU tiêu chuẩn, thực hiện giao tiếp RS485 qua giao diện RJ45, hỗ trợ mạng đa thiết bị và tương thích với các hệ thống điều khiển công nghiệp phổ biến, giúp xây dựng mạng giám sát chân không thông minh.
• Lắp đặt đơn giản và vận hành đáng tin cậy: Được trang bị tiêu chuẩn mặt bích mạ điện thép không gỉ KF25, có độ kín khí tuyệt vời và hỗ trợ lắp đặt theo mọi hướng (khuyến nghị lắp đặt theo chiều dọc). Nó có nguồn điện dải rộng (15~30V DC) và công suất tiêu thụ ≤6W, có thể thích ứng với môi trường công nghiệp khắc nghiệt.
• Hiệu chuẩn thông minh và vận hành thuận tiện: Có thiết kế giao diện dựa trên menu ba cấp, hỗ trợ chuyển đổi tiếng Trung và tiếng Anh, có thể đặt tham số giao tiếp và đơn vị tại chỗ, thực hiện hiệu chuẩn 0.1Pa/áp suất khí quyển, và thậm chí khôi phục cài đặt gốc chỉ bằng một phím, giúp giảm đáng kể ngưỡng vận hành và bảo trì.