|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
|
| Phạm vi lưu lượng/áp suất: | ±1000 sccm (1 SLPM) | Không trên toàn bộ phạm vi nhiệt độ: | ±0,20 mV một chiều |
|---|---|---|---|
| Độ lặp lại: | Đọc ± 0,50% | Thời gian đáp ứng: | Giá trị tiêu biểu 1 ms |
| Làm nổi bật: | Đồng hồ đo lưu lượng khí Micro Bridge,Đồng hồ đo lưu lượng khí AWM42300V,Cảm biến lưu lượng nhiệt Micro Bridge |
||
Cảm biến đo lưu lượng khí cầu siêu nhỏ ±1000sccm AWM42300V
±1000sccm Cảm biến lưu lượng khí cầu vi mô AWM42300V
Đặc trưng:
Cảm biến lưu lượng khối khí microbridge sử dụng điện trở nhiệt được bọc trong một màng silicon nitride mỏng.Các điện trở này được treo và tạo thành hai Cầu trên khoang ăn mòn của tấm bán dẫn silicon.Con chip này được đặt trong kênh luồng không khí có thông số kỹ thuật tốt nhất để cung cấp phản hồi luồng có thể lặp lại.Bằng cách khắc khoang dưới cầu cảm biến dòng chảy, bộ gia nhiệt và điện trở cảm biến đạt được khả năng cách ly nhiệt hiệu quả.Kích thước nhỏ và chức năng cách ly nhiệt của cảm biến lưu lượng khí cầu vi mô đạt được phản ứng nhanh và độ nhạy cao với luồng không khí.
Đo luồng không khí điều khiển hai cầu Wheatstone - một cung cấp khả năng điều khiển bộ gia nhiệt vòng kín, cầu còn lại chứa các yếu tố cảm biến kép.Mạch gia nhiệt làm giảm sự thay đổi đầu ra do sự thay đổi nhiệt độ môi trường bằng cách cung cấp đầu ra tỷ lệ thuận với tốc độ dòng chảy.Mạch này duy trì nhiệt độ của bộ gia nhiệt ở mức chênh lệch nhiệt độ không đổi so với nhiệt độ môi trường xung quanh (160 °C), được đo bằng điện trở nhiệt trên chip.Đầu ra của thiết bị tỷ lệ thuận với điện áp cung cấp và cũng tương ứng với điện áp vi sai của mạch cầu Wheatstone.
Sthông số kỹ thuật:
| loại giao diện | nhiều thứ khác nhau |
| Sự tiêu thụ năng lượng | 60 mW |
| Khả năng tương thích trung bình | Chỉ khí khô |
| Phạm vi nhiệt độ bồi thường | -25°C đến 85°C [-13°F đến 185°F] |
Người liên hệ: Xu
Tel: 86+13352990255
